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納米壓痕儀主要用于微納米尺度薄膜材料的硬度與楊氏模量測(cè)試，測(cè)試結(jié)果通過(guò)力與壓入深度的曲線(xiàn)計(jì)算得出。包括高低溫環(huán)境、真空環(huán)境測(cè)試、粘彈性測(cè)量、彈性模量、水下測(cè)試等多種功能。
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